位移量程

2.5mm,5mm,10mm

輸出信號

0～5V, 0～10V,4～20mA，RS485

分辨率

≤0.1um，  數(shù)字式輸出是16bit

線性誤差

≤±0.25%FS

重復(fù)誤差

可達(dá)1um

供電電源

+12～30V DC

工作電流

電壓輸出型              電流 ＜10mA

二線4～20mA電流輸出型  電流4～25mA

RS485輸出型            電流15～40mA

動態(tài)特性

10Hz

耐受沖擊

250g/11毫秒

振動允限

10g/2KHZ

激勵(lì)電壓

3Vrms

激勵(lì)頻率

5KHZ

溫度系數(shù)

零點(diǎn)≤0.01%/℃

靈敏度

≤0.025%/℃

工作溫度

-25℃～+85℃